適用范圍
本設(shè)備專為高級(jí)清洗和蝕刻而設(shè)計(jì),適用于前道和后道工藝清洗,可根據(jù)客戶需求定制適用于8寸/12寸硅片清洗。
產(chǎn)品亮點(diǎn)
設(shè)備內(nèi)部集成精密的化學(xué)藥液配比裝置和廢液回收裝置,同時(shí)可根據(jù)客戶需求可定制2/4/6/8/12/16腔室,單腔室最大處理速度可達(dá)到35片/小時(shí)。
靈活性
線體可根據(jù)客戶需求進(jìn)行非標(biāo)定制,同時(shí)整線采用柔性設(shè)計(jì),設(shè)備可任意拼接搭配,可適用不同場(chǎng)景,讓客戶使用更能隨心所欲。